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大角度衍射光學(xué)元件
光電所獲取大角度衍射光學(xué)元件批量化制備新方法(2016-04-27)
中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所微電子裝備總體研究室微光學(xué)組在大角度衍射光學(xué)元件批量化制備方法研究中取得新進(jìn)展：提出了一種基于納米壓印技術(shù)的大角度衍射光學(xué)元件批量化低成本制備新方法。由于納米…[詳情]
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