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氮含量
《硅單晶中氮含量的測定 二次離子質(zhì)譜法》即將制訂(2019-11-12)
但目前在硅單晶中氮元素的測試方法方面還是空白，無論是紅外光譜法還是二次離子質(zhì)譜法國內(nèi)目前都尚無相關(guān)測試標準，只能借鑒SEMI MF2139-1103進行測試。為此，國家相關(guān)機構(gòu)近期計劃制定一項有關(guān)于氮…[詳情]
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