突破技術(shù)壁壘！溫州先鋒"半導(dǎo)體高真空球閥"獲實(shí)用新型專利，重塑晶圓制造關(guān)鍵環(huán)節(jié)

近日，溫州先鋒閥門有限公司自主研發(fā)的 “HGU高性能半導(dǎo)體用球閥” 正式獲得國家實(shí)用新型專利授權(quán)（專利號(hào)ZL 2024 2 2218105.6）。

一、專利核心：弧面全包球設(shè)計(jì)，攻克半導(dǎo)體真空密封痛點(diǎn)  

該技術(shù)直擊半導(dǎo)體制造中高真空環(huán)境的嚴(yán)苛需求，通過三大創(chuàng)新實(shí)現(xiàn)突破：  

1.弧面全包球體結(jié)構(gòu)：閥體內(nèi)腔采用全包裹式弧面設(shè)計(jì)，徹底消除球體與閥體間的縫隙死角，避免氣體殘留，使真空度穩(wěn)定維持于**1×10⁻⁸ Torr**(約1.33×10⁻⁶ Pa)，氦檢漏率＜**1×10⁻⁹ std.cc/sec**，滿足晶圓傳輸?shù)某瑵崈魳?biāo)準(zhǔn)。  

2.熱傳導(dǎo)優(yōu)化架構(gòu)：整體采用實(shí)心材料加工，縮短閥門長度并擴(kuò)大端口尺寸，最大化提升與加熱部件的熱傳遞效率，可配置加熱/隔熱模塊，保障工藝溫度穩(wěn)定性。  

3.動(dòng)態(tài)密封抗污染：階梯式密封圈與嵌入式骨架協(xié)同作用，即使萬次啟閉后仍保持“零蠕變”，防止微粒脫落污染真空腔室。  

二、國產(chǎn)替代加速：打破國外企業(yè)長期壟斷格局  

長期以來，半導(dǎo)體高真空閥門市場由美國、日本、瑞士等國際巨頭主導(dǎo)。此次國產(chǎn)專利的落地，標(biāo)志著關(guān)鍵技術(shù)自主化取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展：  

適配國產(chǎn)設(shè)備鏈：閥門支持DN63~100口徑，兼容ISO-KF/ISO-F接口，可直接集成至國內(nèi)晶圓制造等設(shè)備產(chǎn)線，縮短交付周期30%。  

成本優(yōu)勢顯著：相比進(jìn)口同類產(chǎn)品價(jià)格降低60%，且本土化服務(wù)長三角、珠三角半導(dǎo)體集群，提供48小時(shí)應(yīng)急響應(yīng)。 

三、 能效優(yōu)化：全流通設(shè)計(jì)降低氣壓損失，減少真空泵能耗。  

溫州先鋒總工程師表示：這種閥門在真空管路系統(tǒng)中表現(xiàn)得非常出色，保持清潔的動(dòng)態(tài)密封以防止故障時(shí)對(duì)系統(tǒng)的污染。HGU球閥是一種極其可靠的高真空閥，可用于在最具挑戰(zhàn)性的環(huán)境中。

一個(gè)閥門的革新，折射中國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的“破冰”決心——從被動(dòng)適配到主動(dòng)定義，從單一產(chǎn)品到生態(tài)協(xié)同。當(dāng)“弧面包球”專利證書從研發(fā)走向生產(chǎn)，我們看到的不僅是技術(shù)參數(shù)，更是一條自主可控的產(chǎn)業(yè)通途。