等離子表面處理儀的簡單介紹

等離子表面處理儀的詳細信息

清洗機清洗原理：

清洗機產(chǎn)生的等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài)，通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在，但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在，如地球大氣中電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應(yīng)的分子、原子等，但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

清洗機就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來處理樣品表面，通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體，通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面，從而實現(xiàn)清潔、改性、光刻膠灰化等目的。

清洗機技術(shù)參數(shù)：

清洗機配置清單：

• 主機 1臺
• 真空泵 1臺
• 真空軟管 1根
• 艙內(nèi)托盤 1塊
• 電源線 2根
• 備件保險管 4個
• 說明書 1本
• 合格證 1份
• 保修單 1份

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