索奧精密閥門自主研發(fā)的半導體真空鐘擺閥成功交付,填補國內此領域空白

錫企成功填補國內半導體真空閥門領域空白。近日，無錫經開區(qū)企業(yè)無錫索奧精密閥門有限公司自主研發(fā)的半導體真空鐘擺閥完成技術攻關，已交付國內頭部客戶并進入驗證階段，為半導體產業(yè)鏈國產化進程注入新動能。

據介紹，鐘擺閥作為半導體真空閥門中的高端產品，主要應用于半導體芯片制造前端刻蝕與沉積工藝設備。“以往這類產品幾乎全部依賴從瑞士、美國進口?！彼鲓W閥門運營副總褚倩透露，這個“隱匿”于設備“心臟”的核心部件，國內此前鮮有企業(yè)涉足研發(fā)。在索奧閥門展廳，記者見到了這款特殊閥門，產品僅成人兩個拳頭大小，卻直接影響設備加工出的晶圓品質。而晶圓作為芯片核心原材料之一，其質量對芯片性能至關重要。

褚倩解釋，晶圓制造的工序多在刻蝕與沉積工藝設備內部的“工作間”中，過程中，設備會依據不同的工序，往其中充入不同的稀有氣體，這便導致“工作間”內的壓力常常變化。想要高質量的晶圓，壓力穩(wěn)定的制造環(huán)境至關重要。

如何讓“變”成為“不變”？這便需要閥門根據實際情況快速反應、及時調節(jié)，達到精準“穩(wěn)定全場”的效果。若想讓閥門的調節(jié)更敏銳、更精準，則需要依靠軟件算法為其打造精細化的控制系統。而算法如何編寫，便是其中最大的難點。

為了盡快解決這個難題，索奧閥門選擇與擁有十余年技術積淀的韓國閥門公司深度合作，將韓方成熟的閥門控制技術與中方團隊快速落地能力高效嫁接。在此基礎上，企業(yè)先完成了真空閥門中的蝶閥、插板閥研發(fā)并成功推向市場，如今攻克難度更高的鐘擺閥，實現了國產市場“零”的突破。與此同時，索奧閥門也精心搭建了自己的中國研究團隊，引進了5名資深行業(yè)專家。如今，企業(yè)蝶閥的控壓精度已穩(wěn)定在誤差不超過0.1%的國際先進水平。目前，這些閥門的生產與研發(fā)，都在無錫經開區(qū)完成。

值得關注的是，在“產業(yè)園”變身“產業(yè)鏈”的太湖灣信息園，索奧閥門自去年11月入駐后，通過園區(qū)的牽線搭橋，與園內上下游企業(yè)建立了密切聯系。在園區(qū)舉辦的半導體沙龍活動中，企業(yè)結識了同園的做微特電機的無錫奕帆微電子有限公司?！拔覀兊漠a品正好需要配套電機?！瘪屹换貞?，雙方經洽談一拍即合。目前奕帆微的產品已通過索奧閥門送樣驗證，未來有望批量應用于系列閥門產品。此外，在園區(qū)“撮合”下，索奧還與園內一家下游的沉積設備企業(yè)搭上線，雙方正探討深度合作。

“園區(qū)幾乎每兩個月就會組織一次產業(yè)對接活動?！碧承畔@企業(yè)服務部相關負責人表示，通過日常走訪掌握企業(yè)情況與訴求后，園區(qū)會針對性邀請投融資機構、產業(yè)鏈上下游企業(yè)參與對接。就在6月底，無錫經開區(qū)集成電路產業(yè)鏈企業(yè)家沙龍在太湖灣信息園舉辦，索奧、海浥等十余家集成電路裝備企業(yè)，隱秀資本等投資機構及交通銀行無錫分行等金融機構參會。